產品詳情
  • 產品名稱:英國TAYLOR HOBSON非接觸形貌儀

  • 產品型號:CCI LITE
  • 產品廠商:英國TAYLOR HOBSON
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簡單介紹:
TAYLOR HOBSON: CCI Lite非接觸形貌儀采用CCI(磚利技術的相干相關算法)干涉原理,可高精度測量表面形貌、表面粗糙度、三維及二維尺寸、表面缺陷檢測分析并生成統計報告
詳情介紹:
英國Taylor Hobson非接觸形貌儀: CCI Lite非接觸形貌儀采用CCI(磚利技術的相干相關算法)干涉原理,可高精度測量表面形貌、表面粗糙度、三維及二維尺寸、表面缺陷檢測分析并生成統計報告;
英國TAYLOR HOBSON非接觸形貌儀: 
1.      減震基座及立柱:
  鑄鋁基座:結合氣浮減震,提高測量的穩定性和重復精度
 鋼結構立柱:提高測量回路的堅固性和穩定性,降低外部震動影響
 
2. 系統參數
   (1) 干涉類型 :   CCI 干涉,泰勒霍普森磚利相干相關算法
   (2) 測量量程:    2.2mm(標準), >10mm是采用數據拼接
   (3) 分辨率:        0.1 A
   (4) RMS重復性:   <0.02nm
   (5)垂直掃描速度: 7 um/s
   (6) 測量點數:        1 1024 x 1024 點陣
   (7) X Y 軸單次測量范圍: 0.36 – 7.2 mm
      (8) X Y 軸分辨率:         0.4-0.6um
   (9) 臺階高度的重復性: >0.1 %
   (10)系統噪音:                  <0.08nm
   (11)測量時間:                 典型樣品5-20秒
(12) 被測件的反射率:     0.3 –100%
 
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滬公網安備 31011502007567號

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